半導(dǎo)體工業(yè)用超純水的制備過(guò)程詳解
【杭州純水設(shè)備 http://hbcxkj.cn】半導(dǎo)體超純水設(shè)備主要用于高技術(shù)的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程，尤其是半導(dǎo)體這種要求較高的技術(shù)尖端行業(yè)，對(duì)水質(zhì)要求非常嚴(yán)格。
半導(dǎo)體用水中K+、Na+、Cu2+、Zn2+、Fe2+、Cr6+、Mn2+等金屬離子含量都要在ppb級(jí)以下，總硅小于3ppb，TOC小于50ppb，電阻率在18M?·cm以上，水質(zhì)中及其微量的雜質(zhì)原子都會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成極大的影響。
半導(dǎo)體超純水設(shè)備之預(yù)處理系統(tǒng)
一般水源水都難以滿足超純水的要求，在超純水的和制備過(guò)程中，預(yù)處理是非常必要的。絮凝沉淀、氧化、吸附是最常用的預(yù)處理工藝流程。原水中加入絮凝劑或采用電解絮凝方式，可以去除懸浮物、膠體和少部分有機(jī)物。氧化主要是去除易生物降解的有機(jī)物和氨氮。吸附同樣去除水中的懸浮物和膠體。
半導(dǎo)體超純水設(shè)備之深度處理系統(tǒng)
超純水的深度處理工藝需要采用最有效的水處理材料和最先進(jìn)的水處理單元裝置，最常用的就是反滲透設(shè)備，反滲透是現(xiàn)代超純水制備的核心。超純水處理工藝一般為：原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→保安過(guò)濾器→反滲透裝置→混床→超濾設(shè)備→超純水。終端的超濾設(shè)備可進(jìn)一步降低微粒和細(xì)菌的含量。
半導(dǎo)體超純水設(shè)備的制備過(guò)程主要以預(yù)處理和深度處理兩大系統(tǒng)為主，完全按照超純水要求制備，嚴(yán)格控制出水水質(zhì)指標(biāo)，保證工業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品的品質(zhì)。純水設(shè)備，杭州純水設(shè)備 ，杭州GMP純化水設(shè)備。
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